Материалдарды ионды жəне фотонды өңдеудің физикалық негіздері: оқу құралы ‒

Оқу құралында қатты денелер мен ионды шоқтардың өзара əсері фи-
зикасының заманауи түсініктері қарастырылған. Кристалдық тор дефек-
терінің пайда болуы жəне оларды босаңдату, байыту атомдарының беріл-
ген түрде үлестірілу профилдерінің қалыптасу процестері айқындалған.
Материалды ионды жəне фотонды өңдеуге жəне ионды имплантантталған
қабаттардың қасиеттерін өзгертуге арналған заманауи техникалық құрал-
жабдықтар жөнінде мəліметтер келтірілген. Заманауи микроэлектроника
жəне қатты денелі электроника технологияларында ионды жəне фотонды
өңдеудің қолдануы қарастырылған.
Оқу құралы жартылай өткізгіш материалдар физикасы, қатты дене
физикасы, физикалық электроника, микроэлектроника, математикалық
физика əдістерін оқу барысында университет жəне техникалық жоғары
оқу орындарының студенттеріне, магистранттары мен докторанттарына
арналған.